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设备特点:
◆水平结构,外热旋转,优化的反应室结构设计,满足特殊工艺
◆高真空度,工艺真空优于1.0×10-3Pa,保证材料特性
◆新型开合式加热体,使用寿命长,恒温区稳定性好
◆工作温度:500-1100℃,高可靠性,高重复性
◆快冷、真空、气氛、压力等控制,负压/正压自动控制
◆研发型:5-10kg/炉,生产型:50kg/炉,150kg/炉
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